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陶瓷基板 之氮化硅基板的制备方法简析

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2019-10-23     浏览次数:    
  前面的文章谈到了氮化硅基板的性能和优越点,下面就来谈谈氮化硅基板的制备方法。陶瓷基板小编解释即制作氮化硅基板的方法。

  常用的氮化硅基板制备方法有三种,前二者为旧方法,生产成本较高,后者为改进之后的制备方法。

  1.选用氮化硅粉体烧结,得到氮化硅基板块,再将氮化硅基板块进行切开即可得到氮化硅基板。

  2.使用氮化硅粉流延成型的方法来得到氮化硅基板,这种方法无需切开即可得到成品。

  上述两者工艺都需求用到气压或许热压来进行制备,一起质料都为氮化硅粉体。这两个特征使得氮化硅基板的制备成本较高。

  氮化硅陶瓷基板和金属材料的比照

  为了降低成本且保证氮化硅基板的力学和热血性能,各大厂家开始研发使用价格较为便宜的高纯度硅粉,经过活动氮气烧结的方法来制备氮化硅基板。陶瓷基板小编介绍到这种方法成本较低,但由于氮气烧结的进程中会放热,容易发生部分的温度过高而熔硅,在一定程度上影响到了成品率。



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